ヒーターおよびヒーターアッセンブリー

より高い出力とより高い効率

ユニークな電気的、化学的、熱的特性を持つ誘電体である熱分解窒化ホウ素と、電気導体である熱分解グラファイトのヒーティングエレメントを組み合わせることで、最先端のヒーティングシステムを提供します。靱性が高く耐熱性を有するこれらの材料は、高温の化学的気相成長法で製造され、非常に高い純度を誇ります。材料は両方とも高い熱伝導性と異方性を有し、優れた均熱性をもたらします。

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Disc Heater 2109923 Technical Drawing
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ヒーターおよびヒーターアッセンブリー の詳細

PBN/PG ヒーターでは、PBN を絶縁基板とし、PG を抵抗体として利用します。このユニークな材料の組み合わせは、非酸化性の環境において、従来の加熱システムでは得られない性能優位性をもたらします。PBN/PG ヒーターは 1500°C 以上で動作し、超高真空中でも優れた性能を発揮。また、多くの腐食性ガスおよび液体に対して化学的に不活性で、多くの溶融金属による影響を受けません。長寿命であると同時に、高い寸法安定性と電気的安定性を保持。PBN/PG ヒーターは電気抵抗が高く、低コスト電源を使用できる可能性もあります。

 

機械的な耐久性と熱的衝撃耐性を有し、振動の影響もほとんど受けません。特別な要求を満たすよう温度勾配をつけるカスタマイズも可能です。応答性が非常に良く熱容量が低いため、35 W/cm 2 (225 watts/in 2 )以上の出力が得られることが実証されています。

 

モメンティブのフラットプレート状ヒーターの給電端子は、加熱領域外部のタブまたは加熱領域内部に設けられています。CVD で製造した PBN るつぼやチューブのような 3-D エレメントとしても製造できます。PBN/PG ヒーターは、最少で直径 5 mm から最大 800 mm まで製造されています。柔軟なサーマルマネージメントを実現するために、複数の独立した加熱ゾーンにも対応しています。

 

モメンティブのヒーターおよびヒーターアッセンブリーの用途は、以下の通りです。

  • ウエハープロセス (イオン注入、PVD、MOCVD、ALD、MBE、RTP、PE-CVD) 
  • 高温を使用する 産業および化学プロセス 

  • 各種の R&D 用途 

    モメンティブでは、お客様の仕様に応じた PBN/PG ヒーターのカスタム製造を行っています。  個別の用途については、専門スタッフにお問い合わせください。 

    また、各種の技術検証済みヒーターは「既製品」としてご利用いただけます。  ディスクヒーターは非常にシンプルな種類のもので、均熱性向上のために電気端子をホットゾーン外部のタブに設けることもできます。  同様に、加熱面から垂直に取り付けられた給電端子もご利用いただけます。  下記の表は、技術検証済み製品の一覧です。詳細な図面は、個々の製品番号をクリックしてご確認ください。

    ディスクヒーター 製品番号 加熱部直径(mm) 端子間距離(mm) 室温抵抗(Ohms)
     
     
     
     ディスクヒーター
     2109923 1.00(25.4) 0.75(19.0) 10~16
    2109924 1.50(38.1) 1.20(30.5) 10~16
    2109925 2.00(50.8) 1.60(40.6) 15~25
    2109926 2.50(63.5) 2.07(52.6) 22~35
    2109927 3.00(76.2) 2.42(61.5) 22~35
    2109929 2.00(50.8) 1.71(43.4) 15~25
    2109930 3.00(76.2) 2.71(68.8) 15~25
    2109931 4.00(101.6) 3.54(89.9) 15~25

    タブ付きディスクヒーター 製品番号 加熱部直径(mm) 端子間距離(mm) 室温抵抗(Ohms)
     
     
     
     
     タブ付きディスクヒーター
    2109912 0.50(12.7) 0.70(17.8) 5~7
    2109913 0.75(19.0) 1.35(34.2) 9~15
    2109914 1.00(25.4) 1.50(38.1) 9~15
    2109915 1.75(44.5) 2.50(63.5) 17~30
    2109916 2.00(50.8) 2.50(63.5) 15~25
    2109918 1.00(25.4) 1.73(43.9) 15~25

    矩形ヒーター 製品番号 加熱部直径(mm)rectangular 端子間距離(mm) 室温抵抗(Ohms)
     
     矩形ヒーター
    2110068 0.98(25.0) 1.11(28.2) 7~10
    2110071 1.97(48.8) 1.92(48.8) 11~15
    2110072 2.97(75.4) 2.97(75.4) 16~22

    詳細: 工業生産
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