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Heater & Heater Assemblies

MAYOR INTENSIDAD, MAYOR EFICIENCIA

Los elementos resistentes al calor de nitrato de boro pirolítico y de grafito pirolítico funcionan con las propiedades eléctricas, químicas y térmicas únicas del nitrato de boro pirolítico, un material dieléctrico, y el grafito pirolítico, un conductor eléctrico, a fin de producir un sistema de calor realmente avanzado. La excepcional pureza de estos materiales refractarios no quebradizos se debe a un método de producción mediante deposición de vapores químicos a alta temperatura. La alta conductividad térmica y la anisotropía de ambos materiales puede dar como resultado una uniformidad térmica excelente.

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Disc Heater 2109923 Technical Drawing
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Más acerca de Heater & Heater Assemblies

Los hornos de "circuito impreso" de PBN/PG utilizan el PBN como un sustrato aislante y el PG como el elemento resistente. En entornos no oxidantes, esta combinación de materiales únicos ofrece ventajas de rendimiento que los sistemas térmicos convencionales no pueden proporcionar. Los hornos de PBN/PG funcionan a temperaturas de 1500 °C o más y brindan un rendimiento superior en un vacío extremo. Además, son químicamente inertes a la mayoría de los líquidos y gases corrosivos y, en general, los metales fundidos no los afectan. Gracias a su larga vida útil y su estabilidad dimensional y eléctrica, los hornos de PBN/PG ofrecen una alta resistencia y permiten usar fuentes de alimentación de bajo costo.

 

Los hornos de PBN/PG son duraderos desde el punto de vista mecánico y resistentes a los choques térmicos, por lo que en la mayoría de las condiciones, las vibraciones no los afectan y pueden ajustarse a las gradientes térmicas para satisfacer requisitos específicos. Gracias a su respuesta ultrarrápida y a su baja masa térmica, los hornos de PBN/PG demuestran una potencia de salida de 35 W/cm 2 (225 W/pulgada 2 ) y superiores.

 

Momentive fabrica hornos en forma de placas planas con conexiones eléctricas superficiales dentro de la zona caliente o fuera de ella, en lengüetas. Además, los hornos pueden elaborarse como elementos en 3D sobre tubos y crisoles CVD PBN. Se han fabricado hornos de PBN/PG para piezas de apenas 5 mm de diámetro y de hasta 800 mm de diámetro. Es posible incorporar varias zonas independientes para una gestión térmica más flexible.

 

Entre los posibles usos de los Heater & Heater Assemblies de Momentive, se encuentran:

  • Procesamiento de obleas (implante de iones, PVD, MOCVD, ALD, MBE, RTP, PE-CVD, Epi) 
  • Procesos industriales y químicos a alta temperatura 

  • Muchas aplicaciones para investigación y desarrollo 

    Momentive personaliza la fabricación de hornos de PBN/PG para ajustarla a las especificaciones de los clientes.  Comuníquese con un experto para analizar los usos. 

    Además, hay disponibles diversos hornos prefabricados "listos para usar".  Los hornos de disco tienen un factor de forma muy simple. También se ofrecen con lengüetas para mover los contactos eléctricos fuera de la zona caliente para lograr una uniformidad térmica.  Asimismo, existen varias piezas de forma rectangular con montajes.  En la siguiente tabla, el número de artículo es un vínculo a un plano detallado de estas soluciones prefabricadas.

    Hornos de disco N.º de artículo Diámetro caliente (mm) Espacio entre contactos (mm) Resistencia a temp. ambiente (ohmios)
     
     
     
     Horno de disco
     2109923 1,00 (25,4) 0,75 (19,0) 10 a 16
    2109924 1,50 (38,1) 1,20 (30,5) 10 a 16
    2109925 2,00 (50,8) 1,60 (40,6) 15 a 25
    2109926 2,50 (63,5) 2,07 (52,6) 22 a 35
    2109927 3,00 (76,2) 2,42 (61,5) 22 a 35
    2109929 2,00 (50,8) 1,71 (43,4) 15 a 25
    2109930 3,00 (76,2) 2,71 (68,8) 15 a 25
    2109931 4,00 (101,6) 3,54 (89,9) 15 a 25

    Hornos de disco con lengüetas N.º de artículo Diámetro caliente (mm) Espacio entre contactos (mm) Resistencia a temp. ambiente (ohmios)
     
     
     
     
     Horno de disco con lengüetas
    2109912 0,50 (12,7) 0,70 (17,8) 5 a 7
    2109913 0,75 (19,0) 1,35 (34,2) 9 a 15
    2109914 1,00 (25,4) 1,50 (38,1) 9 a 15
    2109915 1,75 (44,5) 2,50 (63,5) 17 a 30
    2109916 2,00 (50,8) 2,50 (63,5) 15 a 25
    2109918 1,00 (25,4) 1,73 (43,9) 15 a 25

    Hornos rectangulares N.º de artículo Diámetro caliente (mm) Espacio entre contactos (mm) Resistencia a temp. ambiente (ohmios)
     
     Horno rectangular
    2110068 0,98 (25,0) 1,11 (28,2) 7 a 10
    2110071 1,97 (48,8) 1,92 (48,8) 11 a 15
    2110072 2,97 (75,4) 2,97 (75,4) 16 a 22

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